Verfahren zur Herstellung von mindestens eines Nanorohres zwischen zwei elektrisch leitenden Elementen sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

EP 602 44 856.5 – C23C 16/26. AT 24.12.2002; OT 07.08.2003; PT 24.04.2013. Anm.: Commissariat à l'Energie Atomique, Paris, FR. Erf.: Semeria Marie-Noélle, 38250 Saint Nizier du Moucherotte, FR, Delaunay, Marc, 38240 Meylan, FR, Senillou, Anne, 38120 Saint-Egreve, FR.