Mikromechanisches Bauteil mit einem Positionserkennungsbauteil zur Positionsbestimmung und Amplitudenbestimmung eines schwingfähigen Elements
Es wird ein mikromechanisches Bauteil vorgeschlagen, wobei das mikromechanische Bauteil ein schwingfähiges Element und ein Positionserkennungsbauteil aufweist. Mittels des Positionserkennungsbauteils sind die Schwingungsmode und die Amplitude des schwingfähigen Elements piezoresistiv bestimmbar. Das Positionserkennungsbauteil befindet sich an einem zweiten Aufhängungselement, welches einen inneren Rahmen mit einem Substrat verbindet.
PS 10 2007 033 000.8 - B81B 3/00. AT 16.07.2007; OT 22.01.2009; PT 04.02.2016. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Ohms, Torsten, 71665 Vaihingen, DE Lammer, Marco, 70199 Stuttgart, DE Wolff, Janpeter, 70839 Gerlingen, DE.