Mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil

PS 10 2013 213 065.0 - B81B 3/00. AT 04.07.2013; OT 08.01.2015; PT 02.06.2016. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Classen, Johannes, 72770 Reutlingen, DE Reinmuth, Jochen, 72766 Reutlingen, DE Kaelberer, Arnd, 73278 Schlierbach, DE

Login

• Password vergessen

Noch kein Login?
Jetzt Abonnement abschließen und Zugriff auf Wissensdatenbanken und Premium-Inhalte erhalten.

Sie sind bereits registriert?
Als Benutzernamen verwenden Sie bitte Ihre E-Mail Adresse. Ihr Kennwort aus dem früheren WOMag-Online-Portal ist nicht mehr gültig. Bitte nutzen Sie die PASSWORT VERGESSEN Funktion damit Sie ein neues Passwort setzen können.

Verwandte Artikel

Weitere Unternehmen in der Prozesskette

Verwandte Normen

Verwandte Patente

• MEMS-Vorrichtung mit Polymerschicht, System einer MEMS-Vorrichtung mit einer Polymerschicht, Verfahren zum Herstellen einer MEMS-Vorrichtung mit einer Polymerschicht

• Verstärkte Mikroelektromechanische Systeme und Herstellungsverfahren dafür

• Verfahren zur Herstellung mikrostrukturierter Bauteile mittels Photolithographie

• Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Drucksensors

• Mikrosystem

• Verfahren zur Herstellung eines hermetisch abgedichteten Hohlraums

• Verfahren zur Herstellung einer mikro-oder nanomechanischen Struktur, die eine poröse Oberfläche enthält

• Mikro-Elektro-Mechanisches System und Verfahren zum Herstellen desselben

• Kapazitive Messstruktur mit eingebetteten Akustikkanälen

• Schutzkapsel für MEMS-Vorrichtungen

Links zu diesem Artikel

Werbepartner