Mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil

PS 10 2013 213 065.0 - B81B 3/00. AT 04.07.2013; OT 08.01.2015; PT 02.06.2016. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Classen, Johannes, 72770 Reutlingen, DE Reinmuth, Jochen, 72766 Reutlingen, DE Kaelberer, Arnd, 73278 Schlierbach, DE

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