Verfahren zur Herstellung eines Sensors
PS 10 2012 101 505.8 - B81C 1/00. AT 24.02.2012; OT 29.08.2013; PT 03.03.2016. Anm.: EPCOS AG, 81669 München, DE. Erf.: Pahl, Wolfgang, 81379 München, DE Leidl, Anton, Dr., 85662 Hohenbrunn, DE Portmann, Jürgen, Dr., 81677 München, DE Eichinger, Robert, 82049 Pullach, DE Siegel, Christian, Dr., 81671 München, DE Nicolaus, Karl, Dr., 85604 Zorneding, DE Wassner, Thomas, 81925 München, DE Sedlmeier, Thomas, 85276 Pfaffenhofen, DE.