Mikromechanisches Bauteil mit getemperter Metallschicht und Verfahren zur dessen Herstellung

WP 50 2009 011 262.9 - B81C 1/00. AT 13.03.2009; OT 05.11.2009; PT 15.07.2015. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Buck, Thomas, 71732 Tamm, DE; Stumber, Michael, 70825 Korntal-Muenchingen, DE.

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