Verfahren zur Herstellung dünner, freistehender Schichten aus Festkörpermaterialien mit strukturierten Oberflächen

EP 60 2009 044 580.4 - B81C 1/00. AT 18.12.2009; OT 31.07.2013; PT 01.03.2017. Anm.: Siltectra GmbH, 01099 Dresden, DE. Erf.: Lichtensteiger, Lukas, 8037 Zürich, CH

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