Mikromechanisches Bauelement mit Federbalken und integriertem elektrischen Funktionselement

EP 50 2011 005 013.5 – B81B 7/00. AT 24.03.2011; OT 26.09.2012; PT 19.11.2014. Anm.: NanoWorld AG, Neuchatel, CH. Erf.: Engl, Wolfgang, 91054, Erlangen, DE, Sulzbach, Thomas, 91085, Weisendorf, DE, Richter, Christoph, 91301, Forchheim, DE.

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