Verfahren zur Herstellung von AL/GE-Bindung in einer Waferverkapselungsumgebung und daraus hergestelltes Produkt

WP 60 2006 045 469.4 - B81C 1/00. AT 09.03.2006; OT 28.09.2006; PT 20.05.2015. Anm.: Invensense Inc., Sunnyvale, Calif., US. Erf.: Nasiri, Steven, S., Saratoga, California 95070, US Flannery, Anthony, Francis, Jr., Los Gatos, California 95030, US.

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