Mikromechanisches Bauelement
Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauelement mit: einer Torsionsfedereinrichtung, welche sich in Richtung einer Torsionsachse zwischen einem Verankerungsbereich und einem beweglichen Element erstreckt, wobei die Torsionsfedereinrichtung als balkenförmige Torsionsfeder ausgebildet ist, wobei eine Bandeinrichtung, welche in Richtung der Torsionsachse und beabstandet von der Torsionsfedereinrichtung zwischen dem Verankerungsbereich und dem beweglichen Element angeordnet ist, und wobei die Bandeinrichtung als gestrecktes Band ausgebildet ist.
PS 10 2009 026 502.3 - B81B 3/00. AT 27.05.2009; OT 02.12.2010; PT 16.03.2017. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Njimonzie, Frederic Njikam, 72762 Reutlingen, DE Schock, Wolfram, 72768 Reutlingen, DE Muchow, Joerg, 72764 Reutlingen, DE Fritz, Joachim, 72770 Reutlingen, DE Lestyan, Zoltan, Budapest, HU Friese, Christoph, 72764 Reutlingen, DE