Verfahren zur Herstellung mikrostrukturierter Bauteile mittels Photolithographie

PS 10 2009 000 642.7 – B81C 1/00. AT 05.02.2009; OT 30.09.2010, PT 06.12.2012. Anm.: BAM Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung, 12205 Berlin, DE. Erf.: Dreßler, Martin, Dr., 10961 Berlin, DE.

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