Mikromechanisches System mit seismischer Masse
WP 50 2009 011 077.4 - B81B 3/00. AT 07.04.2009; OT 14.10.2010; PT 27.05.2015. Anm.: Siemens Aktiengesellschaft, 80333 München, DE. Erf.: Forke, Roman, 09126 Chemnitz, DE Scheibner, Dirk, 90473 Nürnberg, DE, Shaporin, Alexey, 09126 Chemnitz, DE.