Nanoprägelithographieverfahren

PS 10 2013 206 755.0 - B81C 1/00. AT 16.04.2013; OT 31.10.2013; PT 27.08.2015. Anm.: International Business Machines Corporation, Armonk, N.Y., US. Erf.: Holzner, Felix, Langnau am Albis, CH; Knoll, Armin W., Rüschlikon, CH.

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