Verfahren zur Abscheidung von Schichten auf einem Substrat

EP 50 2009 007 872.2 – C23C 16/30. AT 22.06.2009; OT 04.03.2010; PT 28.08.2013. Anm.: Innovent e.V., 07745 Jena, DE. Erf.: Schimanski, Arnd, 44329 Dortmund, DE, Schubert, Tim, 95448 Bayreuth, DE, Grünler, Bernd, 07937 Zeulenroda, DE, Pfuch, Andreas, 99510 Apolda, DE.