Verfahren zur Herstellung eines Schichtsystems auf einem Substrat, sowie Schichtsystem

WP 50 2009 010 943.1 – C23C 14/06. AT 23.07.2009; OT 28.01.2010; PT 22.04.2015. Anm.: Bühler Alzenau GmbH, 63755 Alzenau, DE. Erf.: Schmauder, Torsten, D-63329 Egelsbach, DE, Pistner, Jürgen, 63755 Alzenau-Michelbach, DE, Küper, Stephan, 61352 Bad Homburg v. d. H., DE.

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