Verfahren zur chemischen Gasphasenfiltration von refraktären Stoffen

WP 50 2013 003 398.8 - C23C 16/26. AT 09.01.2013; OT 18.07.2013; PT 15.06.2016. Anm.: CVT GmbH & Co. KG, 87642 Halblech, DE. Erf.: Hegermann, Rainer, 87629 Füssen/Hopfen, DE Goetz, Philipp, 87642 Halblech, DE