Verfahren zum Herstellen einer dünnen Schicht aus porösem DLC, Verwendung einer PECVD-Anlage und mit porösem DLC beschichtetes Werkstück

PS 10 2016 200 367.4 - C23C 16/26. AT 14.01.2016; OT 02.02.2017; PT 02.02.2017. Anm.: Hochschule Wismar, 23966 Wismar, DE. Erf.: Wienecke, Marion, Prof. Dr., 23966 Wismar, DE Schütz, Antje, Dr., 23974 Boiensdorf, DE Heeg, Jan, Dr., 18057 Rostock, DE

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