Beschichtungsanlage mit einer Funkvorrichtung sowie Verfahren zur Steuerung eines Aktors bzw. einer Heizung

WP 50 2007 012 316.1 – C23C 14/50. AT 26.11.2007; OT 19.11.2009; PT 18.09.2013. Anm.: Bankmann, Joachim, Dr., 37115 Duderstadt, DE; Leica Microsystems CMS GmbH, 35578 Wetzlar, DE. Erf.: Bankmann, Joachim, 37115 Duderstadt, DE, Eisenkrämer, Frank, 35444 Biebertal, DE.

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