Nano-Mehrschichtfilm

EP 60 2012 025 612.5 - C23C 14/02. AT 19.10.2012; OT 30.09.2015, PT 16.11.2016. Anm.: ZhongAo HuiCheng Technology Co. Ltd., Beijing, CN. Erf.: Jin, Gong, Beijing 100076, CN Tu, Jiangping, Beijing 100076, CN Li, Lingling, Beijing 100076, CN Wang, Meina, Beijing 100076, CN Wang, Gang, Beijing 100076, CN