Atomlagenabscheidung mit Plasmaquelle

WP 60 2011 032 584.1 - C23C 16/455. AT 07.04.2011; OT 11.10.2012; PT 16.11.2016. Anm.: Picosun Oy, Espoo, FI. Erf.: Kilpi, Väino, FI-02130 Espoo, FI Li, Wei-Min, FI-02260 Espoo, FI Malinen, Timo, FI-02940 Espoo, FI Kostamo, Juhana, FIN-02260 Espoo, FI Lindfors, Sven, FI-02230 Espoo, FI