Verfahren zur Herstellung einer reflexionsmindernden Beschichtung, reflexionsmindernde Schicht auf einem transparenten Substrat sowie Verwendung einer derartigen Schicht

Die Erfindung beschreibt ein Verfahren zur Herstellung einer reflexionsmindernden Beschichtung auf einem transparenten Substrat, bei dem mindestens eine Schicht, die Silicium, Sauerstoff, Kohlenstoff und Wasserstoff enthält, auf mindestens einer Seite des Substrats abgeschieden wird und anschließend in dieser mindestens einen Schicht der Kohlenstoff- und Wasserstoffgehalt reduziert wird, sowie eine reflexionsmindernde Schicht.

PS 10 2005 007 825.7 - C23C 16/56. AT 21.02.2005; OT 20.07.2006; PT 17.09.2015. Anm.: INTERPANE Entwicklungs-und Beratungsgesellschaft mbH, 37697 Lauenförde, DE. Erf.: Segner, Johannes, Dr., 88212 Ravensburg, DE Weis, Hansjörg, Dr., 37671 Höxter, DE Mönnekes, Jörg, 37671 Höxter, DE

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