Verfahren zum Ätzen einer mit Zinn oder einer Zinnlegierung gefüllten vertieften Struktur

EP 60 2011 001 087.5 – C23F 1/40. AT 22.03.2011; OT 08.11.2012; PT 20.03.2013. Anm.: Atotech Deutschland GmbH, 10553 Berlin, DE. Erf.: Tews, Dirk, 10318, Berlin, DE, Wood, Neal, Worcestershire, B98 8HX, GB.