Verfahren zur Beschichtung durch thermische Abscheidung

EP 60 2006 050 593.0 - C23C 4/12. AT 06.04.2006; OT 18.10.2006; PT 19.10.2016. Anm.: Air Products and Chemicals, Inc., Allentown, Pa., US. Erf.: Zurecki, Zbigniew, Macungie, PA 18062, US