Vorrichtung zur differenzierten Schichtratenmessung von Neutralteilchen und Ionen, Verfahren sowie Verwendung der Vorrichtung

PS 10 2010 018 748.8 – C23C 14/00. AT 29.04.2010; OT 03.11.2011; PT 25.09.2014. Anm.: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 München, DE. Erf.: Bandorf, Ralf, Dr., 31241 Ilsede, DE, Papa, Frank, Venlo, NL.