Ablagerungsablösungssystem mit einem Hulasubstrathalter von optimierter Dichte in einer konischen Ablagerungskammer

WP 60 2010 019 152.4 – C23C 14/00. AT 22.04.2010; OT 11.11.2010; PT 24.09.2014. Anm.: Ferrotec (USA) Corp., Santa Clara, Calif., US. Erf.: Wallace, Gregg, Little Silver New Jersey 07739, US, Chang, Ping, Danville California 94506, US.

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