Verfahren zur Herstellung einer Dünnschicht

WP 60 2010 015 053.4 – C23C 16/513. AT 17.09.2010; OT 24.03.2011; PT 09.04.2014. Anm.: Roth & Rau B.V., Eindhoven, NL. Erf.: Bosch, Roland, Cornelis, Maria, 5612 MC Eindhoven, NL, van Gerwen, Björn, 5501 GT Veldhoven, NL, Dings, Franciscus, Cornelius, 2370 Arendonk, BE.