Herstellungsverfahren eines mikromechanischen Bauelements mit porösifizierter Membran
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein mikromechanisches Bauelement, ein dafür geeignetes Herstellungsverfahren sowie die Verwendung des mikromechanischen Bauelements als Filter eines Fluids beschrieben. Dabei besitzt das mikromechanische Bauelement ein Trägerelement aus einem Halbleiterelement, welches eine freitragende Membran mit porösen Strukturen aufweist. Der Kern der Erfindung besteht dabei darin, dass die porösen Strukturen, die sich von einer Seite der Membran auf die andere Seite der Membran erstrecken und somit jeweils eine Durchgangsöffnung darstellen, gleichmäßig auf der Oberfläche der Membran verteilt sind.
PS 10 2007 024 199.4 - B81B 3/00. AT 24.05.2007; OT 27.11.2008; PT 25.06.2015. Anm.: Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE. Erf.: Behnel, Nils Rasmus, 66133 Saarbrücken, DE, Stumber, Michael, 70825 Korntal-Münchingen, DE, Feyh, Ando, 71732 Tamm, DE.