Herstellung von Substraten mit Polymeren zur Metallisierung

EP 60 2010 032 190.8 - C23C 18/16. AT 17.08.2010; OT 23.02.2011; PT 13.04.2016. Anm.: Rohm and Haas Electronic Materials LLC, Marlborough, Mass., US. Erf.: Li, Crystal P.L, Tin Shui Wai, N.T., CN Yee, Dennis K. W., Tuen Mun, N.T, CN Tang, Michael CY, Tin Shui Wai, N.T., CN

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