Zusammengesetztes mikromechanisches Bauteil mit Beschichtung, Verfahren zu dessen Herstellung sowie dessen Verwendung

EP 50 2012 001 583.9 – B81C 3/00. AT 22.11.2012; OT 28.05.2014; PT 12.11.2014. Anm.: Diamaze Microtechnology S.A., La Chaux-de-Fonds, CH; GFD-Gesellschaft für Diamantprodukte mbH, 89081 Ulm, DE. Erf.: Gluche, Peter, 89287 Bellenberg, DE, Gretzschel, Ralph, 89231 Neu-Ulm/Offenhausen, DE.