Mit dünnem Keramikfilm beschichtetes Material mit abgestufter Zusammensetzung und Herstellungsverfahren dafür

WP 603 42 326.4 – C23C 26/00. AT 06.08.2003; OT 19.02.2004; PT 10.10.2012. Anm.: Ube Industries, Ltd., Ube-shi, JP. Erf.: Fujii, T.; c/o Ube Laboratory of Ube Ind. Ltd., Ube-shi, Yamaguchi 755-8633, JP, Yamaoka, H.; c/o Ube Laboratory of Ube Ind. Ltd., Ube-shi, Yamaguchi 755-8633, JP, Otani, S.; c/o Ube Laboratory of Ube Ind. Ltd., Ube-shi, Yamaguchi 755-8633, JP, Harada, Y.; c/o Ube Laboratory of Ube Ind. Ltd., Ube-shi, Yamaguchi 755-8633, JP.