Verbindungen mit niedriger Dielektrizitätskonstante, Verfahren zu deren Herstellung und Verwendung desselben
EP 60 2005 039 213.0 – C23C 16/40. AT 27.09.2005; OT 20.07.2006; PT 24.04.2013. Anm.: Air Products and Chemicals, Inc., Allentown, US. Erf.: Vincent, Jean Louise, Bethlehem, PA 18020, US, O'Neill, Mark Leonard, Allentown, PA 18104, US, Lukas, Aaron Scott, Washington, DC 20011, US, Vrtis, Raymond Nicholas, Orefield, PA 18069, US, Karwacki, Eugene Joseph Jr., Orefield, PA 18069, US.