Hartbeschichtung mit ausgezeichneter Verschleiß- und Oxidationsfestigkeit und Target zu ihrer Herstellung

EP 60 2005 033 321.5 – C23C 14/00. AT 29.09.2005; OT 19.11.2008; PT 21.03.2012. Anm.: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho, Kobe-shi, JP. Erf.: Yamamoto, Kenji, Kobe-shi Hyogo 651-2271, JP.