Anordnung zur Beschichtung eines Substrats

EP 60 2008 022 805.3 – C23C 14/24. AT 30.05.2008; OT 14.01.2010; PT 13.03.2013. Anm.: Applied Materials, Inc., Santa Clara, US. Erf.: König, Michael, 60529 Frankfurt am Main, DE, Bangert, Stefan, 36396 Steinau, DE, Krishna, Nety M., Sunnyvale, CA 94087, US, Dieguez-Campo, Jose Manuel, 63457 Hanau, DE, Kwak, Byung-Sung Leo, Portland, OR 97229, US.