Verfahren zum Herstellen eines Bauteils

EP 50 2008 009 300.1 – C23C 28/00. AT 29.02.2008; OT 29.10.2009; PT 27.02.2013. Anm.: Siemens Aktiengesellschaft, 80333 München, DE. Erf.: Barnikel, Jochen, Dr., 45470 Mülheim a. d. Ruhr, DE, Schürhoff, Jörg, Dr., 45479 Mülheim a. d. Ruhr, DE.