Verfahren zum Abscheiden dielektrischer Schichten im Vakuum sowie Verwendung des Verfahrens

EP 50 2011 000 910.0 – C23C 14/00. AT 16.11.2011; OT 09.08.2012; PT 19.06.2013. Anm.: -. Erf.: Bartzsch, Hagen, 01309 Dresden, DE, Frach, Peter, 01454 Radeberg, DE, Pötschick, Pierre, 01326 Dresden, DE, Fahland, Matthias, 01257 Dresden, DE, Gottfried, Christian, 01219 Dresden, DE.