Herstellung eines Metalloxiddünnfilms mittels zyklischem CVD oder ALD

EP 60 2009 016 457.0 – C23C 16/40. AT 09.04.2009; OT 24.12.2009; PT 19.06.2013. Anm.: Air Products and Chemicals, Inc., Allentown, US. Erf.: Spence, Daniel P., Carlsbad, CA 92008, US, Kim, Moo-Sung, Sungnam-City 463-758, KR, Yang, Sang-Hyun, Suwon-City, Gyunggi-Do 443-470, KR, Lei, Xinjian, Vista, CA 92081, US.

Login

• Password vergessen

Noch kein Login?
Jetzt Abonnement abschließen und Zugriff auf Wissensdatenbanken und Premium-Inhalte erhalten.

Sie sind bereits registriert?
Als Benutzernamen verwenden Sie bitte Ihre E-Mail Adresse. Ihr Kennwort aus dem früheren WOMag-Online-Portal ist nicht mehr gültig. Bitte nutzen Sie die PASSWORT VERGESSEN Funktion damit Sie ein neues Passwort setzen können.

Verwandte Artikel

Weitere Unternehmen in der Prozesskette

Verwandte Normen

Verwandte Patente

• Verfahren zur Herhaltung einer Beschichtung aus einer Goldlegierung 18 Karat 3N

• Oberflächenbehandlungsanlage

• Verfahren zur Herstellung eines Reflexionsschichtsystems

• Substrat mit einer korrosionsbeständigen Beschichtung und Verfahren zu dessen Herstellung

• Verwendung von quartären Ammoniumcarbonaten und -bicarbonaten in Korrosionsschutzschichten von Metallsubstraten

• Metallisierung von Textilstrukturen

• Verschleißschutzschicht für Kolbenringe, Auftragsverfahren und Kolbenring

• Verfahren zur Herstellung von Metallschichten enthaltenden Beschichtungssystemen zur Veredelung von Kunststoffoberflächen

• Form- und/oder Strukturteil aus Aluminium oder einer Aluminiumlegierung und Verfahren zu deren Oberflächenschutz

• Spritzpulver mit einer superferritischen Eisenbasisverbindung, sowie ein Substrat, insbesondere Bremsscheibe mit einer thermischen Spritzschicht

Links zu diesem Artikel

Werbepartner