Multikomponenten-Abscheidung

EP 60 2005 036 172.3 – C23C 14/16. AT 18.03.2005; OT 21.09.2005; PT 19.09.2012. Anm.: United Technologies Corp., Hartford, US. Erf.: Biber, Vladimir, Kiev 03126, UA, Belousov, Igor V., Kiev, UA, Memmen, Robert L., Cheshire, CT 06410, US, Kuzmichev, Anatoly I., Kiev 02192, UA.