Verfahren und Vorrichtung zum Aufkohlen

EP 602 46 497.8 – C23C 8/20. AT 31.05.2002; OT 29.09.2010; PT 30.07.2014. Anm.: Dowa Thermotech Co. Ltd., Tokyo, JP. Erf.: Takahashi, Jun, Tokyo 101-8617, JP, Ebihara, Hisashi, Tokyo 101-8617, JP, Yokose, Keiji, Tokyo 101-8617, JP, Juryozawa, Hidetoshi, Tokyo 101-8617, JP, Abukawa, Fumitaka, Tokyo 101-8617, JP.