Bildungsverfahren und -vorrichtung für amorphe Kohleschichten

EP 60 2004 050 342.8 - C23C 16/509. AT 12.02.2004; OT 05.03.2014; PT 16.11.2016. Anm.: JTEKT Corporation, Osaka-shi, Osaka, JP. Erf.: Ando, Junji, Chuo-ku, Osaka 542-8502, JP Sakai, Naoyuki, Chuo-ku, Osaka 542-8502, JP Saito, Toshiyuki, Chuo-ku, Osaka 542-8502, JP Nakanishi, Kazuyuki, Nagakute-cho, Aichi-gun, Aichi 480-1192, JP Mori, Hiroyuki, Nagakute-cho, Aichi-gun, Aichi 480-1192, JP Tachikawa, Hideo, Nagakute-cho, Aichi-gun,, Aichi 480-1192, JP Itou, Kyouji, Toyoake-shi, Aichi 470-1101, JP Fujioka, Mikio, Toyoake-shi, Aichi 470-1101, JP Funaki, Yoshiyuki, Toyoake-shi, Aichi 470-1101, JP