Mikrooszillationselement

EP 60 2008 035 173.4 – B81B 3/00. AT 12.06.2008; OT 31.12.2008; PT 05.11.2014. Anm.: Fujitsu Ltd., Kawasaki-shi, Kanagawa-ken, JP. Erf.: Matsumoto, Tsuyoshi, Kawasaki-shi Kanagawa 211-8588, JP, Sawaki, Ippei, Kawasaki-shi Kanagawa 211-8588, JP, Tsuboi, Osamu, Kawasaki-shi Kanagawa 211-8588, JP, Mizuno, Yoshihiro, Kawasaki-shi Kanagawa 211-8588, JP, Soneda, Hiromitsu, Kawasaki-shi Kanagawa 211-8588, JP, Kouma, Norinao, Kawasaki-shi Kanagawa 211-8588, JP, Okuda, Hisao, Kawasaki-shi Kanagawa 211-8588, JP.

Login

• Password vergessen

Noch kein Login?
Jetzt Abonnement abschließen und Zugriff auf Wissensdatenbanken und Premium-Inhalte erhalten.

Sie sind bereits registriert?
Als Benutzernamen verwenden Sie bitte Ihre E-Mail Adresse. Ihr Kennwort aus dem früheren WOMag-Online-Portal ist nicht mehr gültig. Bitte nutzen Sie die PASSWORT VERGESSEN Funktion damit Sie ein neues Passwort setzen können.

Verwandte Artikel

Weitere Unternehmen in der Prozesskette

Verwandte Normen

Verwandte Patente

• MEMS-Vorrichtung mit Polymerschicht, System einer MEMS-Vorrichtung mit einer Polymerschicht, Verfahren zum Herstellen einer MEMS-Vorrichtung mit einer Polymerschicht

• Verfahren zur Herstellung von nichtplanaren Membranen mit chemisch-mechanischem Polieren

• Anodisch gebondeter Verformungsisolator

• Kapazitive Messstruktur mit eingebetteten Akustikkanälen

• Vereinfachtes Kupfer-Kupfer-Haftverfahren

• Verfahren zur Herstellung und zum Testen von mikrofluidischen Chips

• Mikromechanisches Bauteil mit einem Positionserkennungsbauteil zur Positionsbestimmung und Amplitudenbestimmung eines schwingfähigen Elements

• Verfahren zur Herstellung integrierter Mikrosysteme

• Mikrofluidischer Chip mit mikrofluidischem Kanalsystem

• Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements mit einer Membran

Links zu diesem Artikel

Werbepartner