Abscheidungsverfahren
WP 60 2010 025 482.8 - C23C 16/455. AT 25.11.2010; OT 22.09.2011; PT 24.06.2015. Anm.: SPP Technologies Co., Ltd., Tokyo, JP. Erf.: Hatashita, Masayasu, Amagasaki-shiHyogo 660-0891, JP; Oishi, Akimitsu, Amagasaki-shiHyogo 660-0891, JP; Murakami, Shoichi, Amagasaki-shiHyogo 660-0891, JP.