Verfahren zur Herstellung einer anorganisch-anorganischen Gradientenkompositschicht

EP 50 2007 010 739.5 – C23C 18/12. AT 21.08.2007; OT 26.03.2008, PT 24.10.2012. Anm.: Innovent e.V. Technologieentwicklung, 07745 Jena, DE. Erf.: Tiller, Hans-Jürgen, 07749 Jena, DE.

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