MEMS-Mikrofon mit verbesserter Empfindlichkeit und Verfahren zur Herstellung

PS 10 2014 108 740.2 - B81B 7/02. AT 23.06.2014; OT 24.12.2015; PT 03.03.2016. Anm.: EPCOS AG, 81669 München, DE. Erf.: Rombach, Pirmin Hermann Otto, Dr., Kongens Lyngby, DK

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