Sputtertarget und durch das Target erhältlicher, transparenter, leitfähiger Film

EP 602 43 004.6 – C23C 14/08. AT 08.07.2002; OT 26.01.2011; PT 23.05.2012. Anm.: Idemitsu Kosan Co., Ltd., Tokio/Tokyo, JP. Erf.: Inoue, Kazuyoshi, Sodegaura-shi, Chiba 299-0293, JP, Matsuzaki, Shigeo, Sodegaura-shi, Chiba 299-0293, JP.

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