Anlage zum Beschichten eines Substrats und Modul

EP 50 2005 015 130.5 - C23C 14/56. AT 08.04.2005; OT 18.10.2006; PT 09.03.2016. Anm.: Applied Materials GmbH & Co. KG, 63755 Alzenau, DE. Erf.: Buchberger, Hans, 61476 Kronberg, DE Geiss, Andreas, 63452 Hanau, DE Krempel-Hesse, Jörg Dr., 63683 Eckartsborn, DE Haas, Dieter, 63486 Bruchköbel, DE