Anordnung in Zusammenhang mit Atomschichtabscheidungsreaktor

WP 60 2009 027 977.7 – C23C 16/455. AT 09.06.2009; OT 17.12.2009; PT 26.11.2014. Anm.: Beneq Oy, Espoo, FI. Erf.: Jauhiainen, Mika, FI-02200 Espoo, FI, Soininen, Pekka, FI-02200 Espoo, FI.