Kaltgasspritzverfahren

WP 50 2006 013 929.4 – C23C 24/08. AT 15.09.2006; OT 29.03.2007; PT 20.08.2014. Anm.: Siemens Aktiengesellschaft, 80333 München, DE. Erf.: Jensen, Jens Dahl, 14050 Berlin, DE, Lüthen, Volkmar, 12157 Berlin, DE, Körtvelyessy, Daniel, 13469 Berlin, DE, Reiche, Ralph, 13465 Berlin, DE, Jabado, Rene, 14199 Berlin, DE, Pyritz, Uwe, 13599 Berlin, DE, Krüger, Ursus, 14089 Berlin, DE, Ullrich, Raymond, 14621 Schönwalde, DE.