Vorrichtung und Verfahren zur Atomlagenabscheidung

WP 60 2010 036 019.9 - C23C 16/455. AT 30.07.2010; OT 03.02.2011; PT 31.08.2016. Anm.: Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek TNO, 's-Gravenhage, NL. Erf.: Vermeer, Adrianus Johannes Petrus Maria, NL-5666 BW Geldrop, NL Janssen, Gabi P., NL-2628 VK Delft, NL