Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Verbundbauteil

EP 60 2010 003 681.2 – B81B 3/00. AT 25.05.2010; OT 27.01.2011; PT 21.11.2012. Anm.: Nivarox-FAR S.A., Le Locle, CH. Erf.: Cusin, Pierre, 1423, Villars-Burquin, CH, Thiébaud, Jean-Philippe, 1588, Cudrefin, CH.

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