Verfahren zum Abscheiden von Barriereschichten auf einem Kunststoffsubstrat, Beschichtungsvorrichtung dafür und Schichtensystem

EP 60 2008 018 669.5 – C23C 14/08. AT 29.04.2008; OT 10.03.2010; PT 12.09.2012. Anm.: Applied Materials, Inc., Santa Clara, US; Biofilm S.A., Puerto Industrial Altamira, MX. Erf.: Hoffmann, Gerd, 63486, Bruchköbel, DE, Quiceno, Alexandra L., Cartagena, CO.