Verfahren zur Beschichtung einer metallischen Substratoberfläche eines Werkstücks mit einer durch einen ALD-Prozess aufgebrachten Materialschicht

EP 50 2010 011 987.6 - C23C 16/02. AT 12.11.2010; OT 25.05.2011; PT 13.07.2016. Anm.: C. Hafner GmbH + Co. KG, 71299 Wimsheim, DE. Erf.: Duss, Martin, 71299 Wimsheim, DE Schöttle, Marco, 71299 Wimsheim, DE Schenzel, Heinz-Günter, Dr., 71299 Wimsheim, D